Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих (ЕТКС), 2024
Выпуск №20 ЕТКС
Выпуск утвержден Постановлением Минтруда РФ от 21.01.2000 N 5
(в редакции Постановления Минтруда РФ от 12.09.2001 N 67)
Раздел ЕТКС «Полупроводниковое производство»
Оператор вакуумно-напылительных процессов
§ 9. Оператор вакуумно-напылительных процессов 2-го разряда
Характеристика работ. Напыление однослойных пленок металлов и стекол на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек и масок без точного совмещения экранов и испарителей в рабочую камеру установки. Загрузка навесок испаряемых металлов и стекол на испарители различных конструкций. Замеры толщины в процессе напыления, контроль сплошности и адгезии.
Должен знать: назначение, устройство и правила эксплуатации обслуживаемых установок; назначение и принцип работы применяемых контрольно-измерительных приборов, правила пользования и обращения с ними; назначение процесса откачки; способы и методы контроля степени вакуума; режимы испарения и осаждения распыляемого материала.
§ 10. Оператор вакуумно-напылительных процессов 3-го разряда
Характеристика работ. Напыление многослойных пленочных микросхем на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек, масок, экранов и испарителей в рабочую камеру вакуумной установки. Загрузка навесок испаряемых материалов (золото, алюминий, нихром и др.) на испарители различных конструкций. Замена мишеней на установках магнетронного напыления. Контроль электрических параметров процесса напыления; определение качества напыляемых слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.
Должен знать: устройство, принцип действия и способы подналадки обслуживаемого оборудования; устройство универсальных и специальных приспособлений, контрольно-измерительных приборов; назначение процесса откачки; режимы испарения и осаждения распыляемого материала; способы и методы контроля степени вакуума; основные свойства и характеристики испаряемых материалов; основные законы электротехники и вакуумной техники.
Примеры работ
1. Кристаллические элементы кварцевых резонаторов - напыление.
2. Приборы квантовые - напыление трехслойных зеркал.
3. Подложки, пленки, ситалловые спутники - напыление алюминия, золота, нихрома, индия, ванадия, никеля, молибдена с контролем качества и толщины напыленного слоя.
4. Резисторы - напыление на ситалловую подложку через маску.
§ 11. Оператор вакуумно-напылительных процессов 4-го разряда
Характеристика работ. Напыление одного и нескольких слоев металлов на пластины, а также пленки на вакуумных установках с термическим распылением. Обслуживание вакуумных установок различных типов, в том числе с магнетронным способом напыления. Определение неисправностей в работе установок и принятие мер по их устранению. Корректировка режимов напыления по результатам контрольного процесса. Регистрация и поддержание режимов осаждения с помощью контрольно-измерительной аппаратуры. Определение качества напыленных слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.
Должен знать: устройство вакуумных установок различных моделей; кинематику, электрические и вакуумные схемы; правила наладки и проверки на точность обслуживаемого оборудования; устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных инструментов и приборов; конструкцию универсальных и специальных приспособлений; способы отыскания течей; основные свойства пленок, используемых для получения токоведущих, резистивных и изоляционных элементов микросхем; основы физического процесса получения тонких пленок; основные виды брака и причины его возникновения.
Примеры работ
1. Конденсаторы тонкопленочные - напыление меди, нихрома, многоокиси кремния.
2. Микросхемы (с малой степенью интеграции), ВЧ транзисторы - напыление на пластину алюминия, золота, нихрома, молибдена, систем: молибден-алюминий, титан-алюминий, вольфрам-алюминий, вольфрам-алюминий-вольфрам.
3. Микроструктуры многослойные пленочные - получение методом напыления в вакууме с контролем качества и толщины пленок.
4. Пластины с заданным рельефом - получение методом термического испарения трехслойного выпрямляющего контакта.
5. Платы анодные для люминесцентных индикаторов - напыление нескольких слоев металла (хром, никель, медь).
6. Пленки (триацетатные, ПЭТФ) - напыление алюминия.
7. Приборы квантовые - напыление пятислойных зеркал.
8. Фотошаблоны металлизированные - напыление хрома.
§ 12. Оператор вакуумно-напылительных процессов 5-го разряда
Характеристика работ. Напыление различными способами (термическое испарение, катодное распыление, электронно-лучевое и магнетронное напыление) однослойных и многослойных пленочных микроструктур для изделий с субмикронными размерами или с повышенной степенью интеграции с выбором оптимальных режимов напыления в пределах допусков, указанных в технологической документации. Обслуживание установок с программным управлением. Наблюдение за режимами процесса. Работа с измерительной аппаратурой с целью регистрации и поддержания режимов осаждения пленок. Сравнительный контроль качества просветляющих пленок по эталону.
Должен знать: электрические и вакуумные схемы, способы проверки на точность различных моделей вакуумных напылительных установок; конструкцию обслуживаемого оборудования; правила определения режимов работы оборудования для получения металлических, резистивных пленок; правила настройки и регулирования контрольно-измерительных инструментов и приборов; электрофизические свойства взаимодействия полупроводник - металл, металл - металл; основы электротехники и порядок работы вакуумной техники.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Диски для видиконов - двух-, трехслойное напыление.
2. Линзы из стекла К-8 оптической толщины лямбда/4 - нанесение одного слоя MgFe2 (просветление).
3. МДП-структуры - изготовление молибденового затвора.
4. Пластины C ч As - напыление Ag с подслоем Cr.
5. Пластины стеклянные - напыление маскирующих, кварцевых покрытий.
6. Пластины полупроводниковые (диодные матрицы, СВЧ - транзисторы, БИС, СБИС, ЗУ, стабилитроны) - одно- или двухслойное напыление различными способами.
7. Пленка полистирольная или стирофлексная, конденсаторная бумага - напыление различных металлов на вакуумной установке.
8. Пленки полупроводниковые и контактные площадки - напыление на монокристаллические подложки германия, кремния, арсенида галлия.
9. Подложки кварцевые - нанесение 15 слоев равной оптической толщины лямбда/4 (зеркало с коэффициентом отражения 99%).
10. Приборы квантовые - напыление семи-, одиннадцатислойных зеркал.
§ 13. Оператор вакуумно-напылительных процессов 6-го разряда
Характеристика работ. Напыление металлических, резистивных и диэлектрических пленок на установках различных типов. Самостоятельный выбор способа нанесения пленок (термическое осаждение в вакууме, катодное распыление, осаждение из газовой фазы, электронно-лучевое и магнетронное напыление и т.д.). Отработка режимов напыления.
Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования для напыления микропленочных структур; методы определения способа нанесения пленок и последовательности процесса; правила определения режимов получения пленочных микроструктур; методы контроля параметров пленок; физику процесса получения пленочных микроструктур различными способами.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Микросхемы пленочные, полупроводниковые приборы - изготовление опытных образцов на установках различных типов с двухслойной или многослойной металлизацией.
2. Пластины кремния различных типов - сплавление с одновременным нанесением алюминия.
3. Пластины со структурами - многослойное напыление на установках различных типов.
4. Покрытия оптические - просветление трехслойное двухстороннее.
5. Фильтры интерференционные - нанесение двух двенадцатислойных зеркал с промежуточным слоем лямбда/2.
§ 14. Оператор вакуумно-напылительных процессов 7-го разряда
Характеристика работ. Напыление металлических и окисных покрытий с заданной оптической плотностью и дефектностью. Напыление тугоплавких металлов с образованием силицидов. Составление программ проведения процесса напыления с использованием ЭВМ. Замер поверхностного сопротивления силицидов и пленок металла. Определение отражающей способности пленки и коэффициента запыления рельефа пленкой. Отработка режимов напыления пленки с получением указанных параметров (толщина, состав, коэффициенты запыления и отражения), настройка и калибровка по эталонам приборов для измерения заданных параметров. Сборка и разборка внутрикамерного устройства установок и их чистка. Отыскание течей вакуумных систем и принятие мер по их ликвидации. Оценка качества высокого вакуума.
Должен знать: устройство и принцип работы обслуживаемого оборудования; принцип работы откачных средств и способы измерения вакуума; наладку и настройку контрольно-измерительных приборов; способы получения проводящих, резистивных, барьерных, диэлектрических слоев и диодов Шоттки; влияние режимов напыления на электрофизические свойства пленок.
Требуется среднее профессиональное образование.
Комментарии к профессии
Приведенные тарифно-квалификационные характеристики профессии «Оператор вакуумно-напылительных процессов» служат для тарификации работ и присвоения тарифных разрядов согласно статьи 143 Трудового кодекса Российской Федерации. На основе приведенных выше характеристик работы и предъявляемых требований к профессиональным знаниям и навыкам составляется должностная инструкция оператора вакуумно-напылительных процессов, а также документы, требуемые для проведения собеседования и тестирования при приеме на работу. При составлении рабочих (должностных) инструкций обратите внимание на общие положения и рекомендации к данному выпуску ЕТКС (см. раздел «Введение»).
Обращаем ваше внимание на то, что одинаковые и схожие наименования рабочих профессий могут встречаться в разных выпусках ЕТКС. Найти схожие названия можно через справочник рабочих профессий (по алфавиту).
| Лудильщик деталей и приборов горячим способом |