Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих (ЕТКС), 2024
Выпуск №20 ЕТКС
Выпуск утвержден Постановлением Минтруда РФ от 21.01.2000 N 5
(в редакции Постановления Минтруда РФ от 12.09.2001 N 67)
Раздел ЕТКС «Полупроводниковое производство»
Фотограф прецизионной фотолитографии
§ 39. Фотограф прецизионной фотолитографии 3-го разряда
Характеристика работ. Изготовление несложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на фотокамере, фотоштампах. Подготовка простых металлизированных промежуточных оригиналов к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов. Изготовление фотошаблонов односторонних печатных плат. Подбор режимов экспонирования и фотообработки для эмульсионных и фоторезистивных стеклопластин. Контактная фотографическая печать. Перепечатка фотошаблонов с рабочего оригинала. Оценка качества пробного и тестовых отсъемов на генераторе изображений, фотокамерах и фотоштампах. Приготовление растворов для обработки фотослоя.
Должен знать: устройство, способы подналадки и принцип действия обслуживаемого оборудования; устройство и технические данные фотокамеры; режимы экспонирования, проявления и фиксации; основы фотохимии, оптики, фотолитографии; методы и способы проверки работы оборудования.
Примеры работ
1. Диэлектрик-металл-полупроводник и малые интегральные схемы -изготовление эмульсионного и металлизированного промежуточного оригинала; изготовление металлизированного эталонного фотошаблона.
2. Фотошаблоны пленочные-изготовление с белков.
3. Фотошаблоны односторонних печатных плат - изготовление.
4. Фотопластины - проявление на основе эмульсии сухого коллодиона.
5. Штриховые негативы - контактная печать на фотобумаге.
§ 40. Фотограф прецизионной фотолитографии 4-го разряда
Характеристика работ. Изготовление эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов средней сложности на различном оборудовании. Подготовка металлизированных промежуточных оригиналов средней сложности к мультипликации. Изготовление пленочных фотошаблонов двухсторонних печатных плат. Мультипликация пленочных фотошаблонов с точностью +/- 50 мкм на фотокамере. Подбор режима обработки фотопластин или фоторезистивных пластин при изготовлении промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Выбор и настройка установки и оптики для получения несложных фотошаблонов. Измерение размеров на фотошаблоне с помощью микроскопов. Подбор проявителей и травителей для хромированных стеклопластин.
Должен знать: устройство применяемого оборудования и методы настройки оборудования; фотохимические процессы, протекающие при обработке фотоматериалов (эмульсии, резисты); свойства химикатов и их роль в процессе фотообработки; свойства, характеристики фотоматериалов (светочувствительность, зернистость, разрешающая способность, вуаль, контрастность изображения, фотографическая широта); фотолитографический процесс, общие понятия по корректировке режимов; принцип работы с микроскопами.
Примеры работ
1. Двухсторонние оригиналы - настройка фотоаппарата на размер, фотографирование.
2. Изделия СИС, СВЧ (средние интегральные схемы и изделия сверхвысокочастотные):
- проведение экспресс-контроля фотошаблонных заготовок (ФШЗ);
- изготовление эмульсионного и металлизированного промежуточного оригинала;
- подготовка металлизированного промежуточного оригинала к мультипликации;
- изготовление металлизированных эталонных фотошаблонов;
- исправление дефектных промежуточных оригиналов и фотошаблонов на ретушере.
3. Пленочный мультиплицированный фотошаблон - изготовление.
§ 41. Фотограф прецизионной фотолитографии 5-го разряда
Характеристика работ. Изготовление сложных эмульсионных, металлизированных промежуточных оригиналов и фотошаблонов. Изготовление пленочных фотошаблонов НЭЧ и выводных рамок методом мультипликации с точностью совмещения до 20 мкм. Изготовление фотошаблонов, многослойных печатных плат. Подбор режимов обработки. Выбор метода обработки фотоматериалов и проведения технологических операций по обработке фотошаблонов. Настройка установок, подбор оптики, выбор фотоматериалов для изготовления особо точных шаблонов. Составление программ запуска эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов на генераторе изображений. Расчет программ на распечатку металлизированных эталонных фотошаблонов на фотоштампе. Проведение измерений с помощью микроскопа. Исправление отдельных элементов на фотошаблоне.
Должен знать: устройство и способы проверки на точность различных моделей обслуживаемого оборудования; режимы фотографической обработки; критерии оценки надежности работы генераторов изображений, фотоштампов, возможные методы устранения имеющихся отклонений; характеристики метода сканирования и метода фотонабора, используемых при получении изображения на фотонаборных установках; математическое обеспечение генераторов изображения; погрешности изображения в оптических системах; возможные виды брака и методы его устранения; технические требования и документацию на изготавливаемые изделия.
Примеры работ
1. Аппаратура, узлы, детали контактных приборов с полутоновым изображением - контактное печатание фотоснимков, фотографирование для технической документации.
2. Групповые фотошаблоны плат, подлежащие обработке на штампах, - изготовление.
3. Металлизированные эталонные фотошаблоны изделия БИС, СБИС - изготовление.
4. Полутоновые негативы на фотопластинках и фотопленках - обработка.
5. Сложные, эмульсионные, металлизированные, пленочные промежуточные оригиналы и фотошаблоны - изготовление и контроль качества их согласно требованиям конструкторской документации.
6. Таблицы телевизионные испытательные - изготовление рабочих негативов и позитивов по II классу точности.
§ 42. Фотограф прецизионной фотолитографии 6-го разряда
Характеристика работ. Изготовление сложных фотошаблонов, эмульсионных и металлизированных промежуточных оригиналов. Самостоятельный подбор необходимой аппаратуры, режимов изготовления, контрольно-измерительных приборов, светочувствительного материала и химикатов. Определение и коррекция режима фотохимического и фотолитографического процесса для получения мелкоструктурных негативных, диапозитивных и позитивных изображений с соблюдением геометрических форм в пределах заданного класса точности.
Должен знать: устройство, принцип работы, способы и правила проверки прецизионных фотокамер всех типов, генераторов изображений, фотоштампов; основы прецизионной фотолитографии; назначение, устройство и правила эксплуатации контрольно-измерительной и светотехнической аппаратуры и приборов; рецептуру растворов для фотохимического процесса; режимы фотолитографической и фотохимической обработки.
Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Металлизированные промежуточные оригиналы различной сложности изделий - проведение экспресс-контроля, подготовка к мультипликации.
2. Таблицы телевизионные испытательные - изготовление рабочих негативов по 1 классу точности.
3. Твердые схемы - изготовление комплекта совмещаемых фотошаблонов с размножением свыше 100 модулей по рабочему полю.
4. Фотошаблоны пленочные - полный цикл изготовления с использованием различных фотоматериалов; изготовление технических фотографий на разных типах фотобумаги.
Комментарии к профессии
Приведенные тарифно-квалификационные характеристики профессии «Фотограф прецизионной фотолитографии» служат для тарификации работ и присвоения тарифных разрядов согласно статьи 143 Трудового кодекса Российской Федерации. На основе приведенных выше характеристик работы и предъявляемых требований к профессиональным знаниям и навыкам составляется должностная инструкция фотографа прецизионной фотолитографии, а также документы, требуемые для проведения собеседования и тестирования при приеме на работу. При составлении рабочих (должностных) инструкций обратите внимание на общие положения и рекомендации к данному выпуску ЕТКС (см. раздел «Введение»).
Обращаем ваше внимание на то, что одинаковые и схожие наименования рабочих профессий могут встречаться в разных выпусках ЕТКС. Найти схожие названия можно через справочник рабочих профессий (по алфавиту).
| Скрайбировщик пластин |